فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH که با نام تترا متیل ازانیوم هیدروکسید یا TMAH نیز شناخته می‌شود.

یک نمک آمونیوم چهارگانه است که به طور عمده در صنایع شیمیایی به عنوان ماده اولیه واکنش‌های صنعتی مورد استفاده قرار می‌گیرد.

فرمول و ساختار:

فرمول شیمیایی تترامتیل آمونیوم هیدروکسید C₄H₃NOو جرم مولکولی آن 15/91.15 گرم در مول است.

این ترکیب یک مولکول نمکی است که توسط کاتیون تترامتیل امونیوم N(CH₃)₄⁺ و آنیون هیدروکسیل ^–OH تشکیل می‌شود.

کاتیون از یک آمین کواترنر مشتق شده است که حداقل واحدهای جایگزینی را دارد (گروه های متیل)، هندسه این گروه چهار وجهی است.

ساختار شیمیایی آن را می‌توان به صورت زیر، در نمایش‌های رایج مورد استفاده برای مولکول های آلی، نوشت.

تهیه تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH

TMAH معمولاً به عنوان یک محلول آبی، در غلظت های ~ 2-25، و کمتر به عنوان محلول در متانول مشاهده می‌شود.

این محلول‌ها توسط CAS # 75-59-2 شناسایی شده‌اند. به صورت چند هیدرات N(CH₃)₄OH·xH₂O تبلور یافته‌اند.

این نمک‌ها دارای کاتیون‌های Me₄N⁺ و آنیون‌های هیدروکسید به خوبی جدا شده هستند.

گروه‌های هیدروکسید توسط پیوندهای هیدروژن و آب متبلور متصل می‌شوند. TMAH بی آب جدا نشده است.

تترامتیل امونیوم هیدروکسید در طبیعت یافت نمی‌شود، باید از طریق روش‌های مصنوعی تهیه شود.

تترامتیل آمونیم هیدروکسید با استفاده از چند روش تهیه می‌شود و روشی که بیشترین استفاده از آن می‌شود.

واکنش بین تترامتیل آمونیوم کلرید و پتاسیم هیدروکسید در متانول است:

NMe₄⁺Cl^– + KOH → NMe₄⁺ OH^– + KCl

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH

و تترامتیل آمونیوم کلرید با آلکیلاسیون آمونیوم کلرید با دی متیل کربنات سنتز می‌شود:

NH₄⁺Cl^– + 2 (CH₃O)₂CO → N(CH₃)₄⁺Cl^– + 2 H₂O + 2 CO₂

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH و خواص فیزیکی آن

تترامتیل آمونیوم هیدروکسید در صورت هیدراته شدن جامد یا مایع بی‌رنگ تا زرد با بوی شدید ماهی است.

این ماده معمولاً در محلول‌های آب یا متانول یافت می‌شود.

دارای چگالی 1.015 گرم بر میلی لیتر است و نقطه ذوب 67 درجه سانتیگراد و بالاتر از این دما، تجزیه می‌شود.

خواص شیمیایی

تترامتیل آمونیوم هیدروکسید یک ترکیب شیمیایی است .

که به دلیل مقدار زیادی واکنش‌های که می‌تواند باعث آن شود، در صنایع شیمیایی بسیار مورد استفاده قرار می‌گیرد، به عنوان مثال:

واکنش‌های اسید باز با اسید یا بازها برای تشکیل نمک متناظر تترامتیل آمونیوم هیدروکسید (فرآیندهای مشابه سنتز TMAH از کلرید تترامتیل امونیوم است).

TMAH تحت واکنش های ساده اسیدی و باز با اسیدهای قوی یا ضعیف قرار می‌گیرد تا نمک‌های تترامتیل آمونیوم که آنیون آن از اسید تولید می‌شود را تولید کند.

تهیه فلوراید تترامتیل آمونیوم

NMe4 + OH⁻ + HF → NMe₄ + F⁻ + H2O

NMe₄⁺ OH^– + HCl → NMe₄⁺Cl^– + H₂O

ممکن است از محلول‌های TMAH برای ساختن نمک‌های دیگر تترامتیل آمونیوم در واکنش متاتز با نمک‌های آمونیوم استفاده شود.

که به موجب آن، آنیون از نمک آمونیوم بدست می‌آید.

واکنش با حذف تبخیری آمونیاک و آب در جهت مورد نظر هدایت می‌شود.

به عنوان مثال، تیوسیانات تترامتیل آمونیم ممکن است از تیوسیانات آمونیوم ساخته شود، بنابراین:

NMe₄⁺ OH⁻ + NH₄⁺SCN⁻ → NMe₄⁺SCN⁻ + NH₃ + H₂O

TMAH، به طور مشترک با بسیاری دیگر از نمک های TMA حاوی آنیون‌های ساده، با گرم شدن به تری متیل آمین تجزیه می‌شود.

دی متیل اتر به جای متانول، محصول اصلی تجزیه است.

معادله ایده آل: 2 NMe₄⁺ OH⁻ → 2 NMe₃ + MeOMe + H₂O

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH و موارد استفاده از آن

تترامتیل آمونیوم هیدروکسید به عنوان واسطه در بسیاری از واکنش‌ها برای تولید نمک‌های دیگر تترامتیل آمونیوم استفاده می‌شود.

این ماده همچنین در آزمایشگاه‌های شیمیایی به عنوان واکنش دهنده و پیش ساز و در صنایع به عنوان حلال در برابر مقاومت در برابر اسید (در طی فرآیندی به نام فوتولیتوگرافی) استفاده می‌شود.

علاوه بر این، TAMH کاتالیزور برخی از واکنش ها است و معرف است که در ترموشیمولیز استفاده می‌شود.

کاربرد صنعتی تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH

یکی از کاربردهای صنعتی TMAH برای اچ ناهمسانگرد سیلیکون است.

این ماده به عنوان یک حلال بازی در ایجاد مقاومت در برابر نور اسیدی در فرایند فتولیتوگرافی استفاده می شود و در سلب مقاومت در برابر نور بسیار موثر است.

TMAH دارای برخی از خصوصیات کاتالیزور انتقال فاز است و به عنوان یک سورفاکتانت در سنتز فروسیال برای جلوگیری از تجمع نانوذرات استفاده می‌شود.

TMAH متداول ترین معرف است که در حال حاضر در ترموشیمولیز استفاده می‌شود، یک روش تحلیلی شامل

هر دو فرایند تجزیه در اثر حرارت و مشتق شیمیایی آنالیت است.

اچ ناهمسانگرد مرطوب

TMAH از خانواده محلول‌های هیدروکسید آمونیوم کواترنر (QAH) است و معمولاً برای قلم سیلیکون از ناهمسانگرد استفاده می‌شود.

درجه حرارت معمول اچ بین 70 تا 90 درجه سانتی گراد و غلظت‌های معمولی 5-25 درصد وزنی TMAH در آب است.

(100) نرخ اچ سیلیسیم معمولاً با افزایش دما و افزایش غلظت TMAH افزایش می‌یابد.

زبری سطح سیلیکون اچ (100) با افزایش غلظت TMAH کاهش می‌یابد و می‌توان با صافی‌های 20٪ TMAH سطح صاف را بدست آورد.

نرخ اچ به طور معمول در محدوده 1/1 میکرومتر در دقیقه است.

مواد متداول پوشاندن برای اچ‌های طولانی در TMAH شامل دی اکسید سیلیسیم (LPCVD و حرارتی) و نیترید سیلیسیم است.

نیترید سیلیکون در TMAH دارای میزان اچ ناچیز است.

میزان اچ برای دی اکسید سیلیکون در TMAH با کیفیت فیلم متفاوت است، اما به طور کلی برابر 0.1 نانومتر در دقیقه است.

فروش تترا متیل آمونیوم هیدروکسید TMAH و خطرات استفاده از آن

تترامتیل امونیوم هیدروکسید بسیار سمی است و در صورت بلعیدن یا تماس با پوست یا مخاط، کشنده است.

همچنین برای حیوانات آبزی سمی است و برای سایر ترکیبات خورنده است. قابل اشتعال و قابل احتراق نیست.

مشکلات ذخیره سازی، نشت و زباله

الف) ذخیره سازی

مقادیر TMAH که در انبار نگهداری می‌شود باید حداقل باشد. ظرف را در مکانی خشک و با تهویه خوب، محکم بسته نگه‌دارید.

ظروف باز شده باید با دقت بسته شده و به حالت قائم نگهداری شوند تا از نشتی جلوگیری شود.

TMAH باید در زیر گاز بی‌اثر ذخیره شود زیرا به دی اکسید کربن حساس است.

TMAH با عوامل اکسید کننده (مانند پرکلرات‌ها، پراکسیدها، پرمنگنات‌ها، کلرات‌ها، نیترات‌ها، کلر، برم و فلوئور) سازگار نیست. TMAH با اسیدهای قوی واکنش شدیدی نشان می‌دهد.

ب) نشت

در صورت نشت اندک، با فرض وجود تجهیزات صحیح و اینکه کارکنان خطرات مرتبط با TMAH را درک می‌کنند، می توان نشت را توسط کارکنان آزمایشگاه تمیز کرد.

از تهویه برای ناحیه نشت استفاده کنید
از تجهیزات حفاظت شخصی مناسب استفاده کنید.
جذب در جاذب بی اثر. گرانول‌های جذب BDH، جاذب حلال برای نشت این محصول توصیه می‌شود اما سایر جاذب های بی اثر (مثلاً، ورمیکولیت، ماسه خشک، خاک) نیز می‌تواند مورد استفاده قرار گیرد.
محلی که ترکیب در آنجا ریختن شده است را کاملاً با آب و مواد شوینده بشویید.

5- کلیه زباله‌ها را به ظرف مناسبی که دارای برچسب “زباله تترا متیل امونیوم هیدروکسید” است منتقل کنید.

در صورت نشت زیاد و در خارج از هود بخار شیمیایی، نشت باید فقط تمیز شود.